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| ■ 主要参数 (Specifications) |
| 型号
Model |
VTC-050 | VTC-150 | ||
| 法兰内径 Flange size |
吸气口 Inlet | ICF114 | ICF152 | |
| 排气口 Outlet | NW16 | NW16 | ||
| 涡轮分子泵排气速度 TMP pumping speed |
N2 | L/s | 50 | 190 |
| H2 | L/s | 40 | 160 | |
| 最后压力 Ultimate pressure | Pa | 10-6台（无热烘 No baking） | ||
| 噪音 Noise level | dB(A) | 60 | ||
| 粗辗真空泵 Foreline pump | ISP-250B-SV | |||
| 输入电压 Voltage | V | 单相 Single phase 100 | ||
| 重量 Weight | kg | 49 | 54 | |
| 外形尺寸 Dimensions | mm | W 350×L 490 ×H 591 |
W 350×L 490 ×H 638 |
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| 选项 Optional parts | 箱、真空计、自动阀等 Chamber, Vacuum gauge, automatic value |
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| 型号
Model |
VTU-050 | VTU-500 | ||
| 法兰内径 Flange size |
吸气口 Inlet | ICF114 | ICF203 | |
| 排气口 Outlet | NW16 | NW25 | ||
| 涡轮分子泵排气速度 TMP pumping speed |
N2 | L/s | 50 | 550 |
| H2 | L/s | 40 | 500 | |
| 最后压力 Ultimate pressure | Pa | 10-6台（无热烘 No baking） | ||
| 噪音 Noise level | dB(A) | 56 | 60 | |
| 粗辗真空泵 Foreline pump | ISP-90 | ISP-500B-SV | ||
| 输入电压 Voltage | V | 单相 Single phase 100 | ||
| 重量 Weight | kg | 25 | 93 | |
| 外形尺寸 Dimensions | mm | W 350×L 340 ×H 285 |
W 430×L 570 ×H 740 |
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| 选项 Optional parts | 箱、真空计、自动阀等 Chamber, Vacuum gauge, automatic value |
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※当客户使用自己指定的涡轮分子泵组成高真空排气系统时，请询问相关事项。
If you have any preference of turbo molecular pump, it could be chosen.
在未指定时，按三菱重工业株式会社制造的涡轮分子泵配置。